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技術文章

為什么半導體工廠都選擇日本ATOMAX噴嘴AM6S-ISV

為什么半導體工廠都選擇日本ATOMAX噴嘴AM6S-ISV

二流體噴嘴AM6S-ISV （SUS316L）

 

アトマックスノズルは「特許」噴射方式で 従來ノズルの不可能を可能にしました。

水や低粘度液體、高粘度液體の微細化が、目詰まり、前垂れ、ボタ落ちすることなく、 均一に噴射できる「外部混合渦流式二流體ノズル」（特許取得済み）です。

アトマックスノズル導入のメリット

高粘度?スラリー流體でも 目詰まりしません。

高粘度?スラリー流體でも 目詰まりしません。

従來のスプレーノズルの噴射口徑に比べ約10～200倍と大口徑で、液體の入口から出口までがストレート構造になっています。フィルターが無いためメンテナンスが簡単です。

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5μmの超微細粒子も安定して噴射が可能です。

5μmの超微細粒子も安定して噴射が可能です。

超微粒子から雨粒大までの粒子を1個のノズルで噴射できます。非常に安定して精密に作動し、均一な粒子を噴射します。前垂れ?ボタ落ちがありません。

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シンプルな構造で小型? 軽量?省エネ。

シンプルな構造で小型? 軽量?省エネ。

非常に小さく取り付け場所を選びません。部品は2點のみで、メンテナンスも容易です。低圧でも正常に動作するため、気體の消費量も15～70％少なく済みます

 

 

アトマックスノズルは「特許」噴射方式で 従來ノズルの不可能を可能にしました。

水や低粘度液體、高粘度液體の微細化が、目詰まり、前垂れ、ボタ落ちすることなく、 均一に噴射できる「外部混合渦流式二流體ノズル」（特許取得済み）です。

アトマックスノズル導入のメリット

高粘度?スラリー流體でも 目詰まりしません。

高粘度?スラリー流體でも 目詰まりしません。

従來のスプレーノズルの噴射口徑に比べ約10～200倍と大口徑で、液體の入口から出口までがストレート構造になっています。フィルターが無いためメンテナンスが簡単です。

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5μmの超微細粒子も安定して噴射が可能です。

5μmの超微細粒子も安定して噴射が可能です。

超微粒子から雨粒大までの粒子を1個のノズルで噴射できます。非常に安定して精密に作動し、均一な粒子を噴射します。前垂れ?ボタ落ちがありません。

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シンプルな構造で小型? 軽量?省エネ。

シンプルな構造で小型? 軽量?省エネ。

非常に小さく取り付け場所を選びません。部品は2點のみで、メンテナンスも容易です。低圧でも正常に動作するため、気體の消費量も15～70％少なく済みます
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